1400℃ Sistema CVD de Fornalha de Tubos de Atmosfera a Vácuo

DESCRIÇÃO

Fornece um ambiente experimental com vácuo, atmosfera controlada e alta temperatura.

Este sistema de crescimento CVD é adequado para processos CVD, como revestimento de carboneto de silício, teste de condutividade de substrato cerâmico, crescimento controlado de nanoestruturas de ZnO e experimentos de sinterização em atmosfera MLCC.

RECURSOS

1. O forno é feito de adsorção a vácuo de fibra de mulita policristalina, o campo de temperatura é uniforme e a economia de energia é superior a 50%

2. A tecnologia de desvio de ar e isolamento térmico garante a vida útil e o efeito de temperatura constante de cada componente na caixa

3. Inicie o forno elétrico e o exaustor funcionará automaticamente ao mesmo tempo. Após o teste, o exaustor continuará funcionando até que a temperatura do corpo do forno seja inferior a 60 °C, e o exaustor irá parar automaticamente, o que protege efetivamente a superfície do corpo do forno.

4. Desligamento automático, função de proteção contra temperatura excessiva, função de proteção contra vazamento para garantir a segurança do uso

5. O circuito adota o modo de saída de aquecimento contínuo, fonte de alimentação de circuito duplo e fiação separada de corrente forte e fraca melhora a estabilidade do sistema

6. O módulo de aquecimento adota sinal DC para ajustar a potência de saída, o que evita a interferência de eletricidade induzida no sinal de controle.

7. Compensação automática para o efeito de controle de temperatura causado pela temperatura ou envelhecimento na mudança do valor de resistência da haste de carboneto de silício, evitando imprecisão e perigo de ajuste artificial

8. Adote um instrumento de exibição de fluxo digital, coopere com o controlador de fluxo de massa, colete dados e controle o fluxo. Tem as características de boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, estabilidade e confiabilidade. (Sistema de controle de fluxo de massa de gás)

9. Função de comutação de controle automático e controle manual, o modo de controle automático pode ligar/desligar automaticamente a bomba de vácuo através do valor definido para manter o recipiente dentro de uma certa faixa de pressão de vácuo. O modo de controle manual usa o usuário para operar diretamente a bomba de vácuo por meio do botão liga/desliga da bomba de vácuo. para atender às necessidades de diferentes experimentos. (Sistema de controle de vácuo médio)

10 Tecnologia de início lento da válvula solenóide, para que a válvula solenóide seja aberta 10 segundos após a bomba de vácuo ser ligada, para que a pressão do sistema no tubo do forno seja mantida precisa e também garante que o gás de exaustão não retorne ao sistema de tubo de forno para afetar o efeito experimental (sistema de controle de vácuo médio)

ESPECIFICAÇÕES